问题体现
DISCO是业界著名的切割机厂商,在很多大型半导体工厂使用非常广泛,设备精度高。苏州优米佳有丰富的DISCO切割机相关电气单元故障维修经验,维修过很多DISCO变频器。该DAICHI COMPONENTS变频器使用在DISCO切割机上,DISCO切割机是非市场常规产品,主要用于半导体公司划片切割设备上,客户反馈DISCO变频器故障为失效不动作。
主要难点及根本原因
该DISCO变频器为非标定制型号,模块使用三菱PM50RLB060的功率模块,检测难度相当高,原装进口模块采购困难,周期长,电流再生回路采用模拟控制,维修难度高,内置EMC滤波器和PWM控制器,测试上要求非常高。
解决方案及结果
更换DAIICHI变频器主板上三菱PM50RLB060控制模块,第14脚信号恢复正常,将电流再生回路的再生二极管进行更换。通过连接稳压器给DISCO变频器上电,检测U V W相输出正常。